光氧催化反應進(jìn)行的第一階段是利用特制的高能(néng)UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：VOC類，苯類，烴類，醇類，酯類，酮類等多種(zhǒng)VOC（揮發(fā)性有機化合物），處理效果好(hǎo)，淨化效率高，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能(néng)紫外線光束照射下，降解轉變成(chéng)低分子化合物，如CO2、H2O等。

第二階段是利用高能(néng)UV紫外線光束分解空氣中的氧分子産生遊離氧，即活性氧，因遊離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進(jìn)而産生臭氧。 UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),衆所周知臭氧對(duì)有機物具有極強的氧化作用，對(duì)工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。第三階段是利用納米紫外線照射塗有TIO2的媒介（光觸媒闆）産生-OH來氧化有機廢氣。有機廢氣經(jīng)過(guò)本設備淨化後(hòu)，使廢氣物質其降解轉化成(chéng)低分子化合物、水和二氧化碳，再通過(guò)排風管道(dào)排出室外。